Arbeitsgebiete

Der Lehrstuhl für elektronische Bauelemente (LEB) befasst sich mit der angewandten Forschung in den Bereichen Technologie und Fertigung elektronischer Bauelemente. Forschungsschwerpunkte des LEBs liegen bei Entwicklung, Charakterisierung und Simulation neuer Herstellungsverfahren und Bauelemente sowie der Entwicklung und Optimierung von Anlagen und Materialien für die Mikro- und Nanoelektronik.

Der Lehrstuhl arbeitet eng mit dem vom Lehrstuhlinhaber in Personalunion geleiteten Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen und Bauelementetechnologie (IISB) zusammen.

Insgesamt stehen dem LEB 1000 m2 Reinraumfläche im Maßstab einer industriellen Halbleiterfertigung zur Verfügung. Modernste Geräteausstattung bietet für die anspruchsvollen Forschungsaufgaben im Bereich der Mikro- und Nanoelektronik hervorragende Voraussetzungen.

Gemeinsam mit dem IISB wird eine umfangreiche Prozesstechnik betrieben, die CMOS-kompatible Prozessschritte für die Fertigung von Teststrukturen und Testbauelementen in 150 mm-Siliciumtechnologie ermöglicht. Einzelne Prozessschritte sind für Scheibengrößen bis hin zu 300 mm verfügbar. Darüber hinaus betreibt der LEB eine Pilotlinie zur Fertigung von Bauelementen auf Siliciumcarbid-Substraten.

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Letzte Änderung: 01.12.2011 - 09:03 Uhr GMT +1
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