Dienstleistungen des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente

Die aufgeführten Dienstleistungen stellen nur eine Auszug aus dem breiten Leistungsspektrum des LEB dar. Über Ihre detailierte Anfrage zu spezifischen Leistungsangeboten an info@leb.eei.uni-erlangen.de würden wir uns freuen.

Halbleitertechnologie und -messtechnik

Für die Entwicklung neuer Halbleitertechnologien steht am LEB ein Reinraumlabor der Klasse 10 mit umfangreicher Ausstattung zur Verfügung.
Unter anderem können am LEB Untersuchungen für folgende Halbleitertechnologien durchgeführt werden:

Durchführung von Einzelprozessschritten und innovative Prozessentwicklung

  • Entwicklung von Oxidations- und Ausheilprozessen auf Silicium-, Siliciumcarbid- und Germaniumsubstraten
  • Herstellung und Charakterisierung neuer Gatekonzepte
  • Ionenimplantationen für zukünftige Technologiegenerationen
  • Druckbare Elektronik

Prozesscharakterisierung

  • Optische und elektrische Schichtdickenmessungen
  • Schichtwiderstandsmessungen
  • Material- und Morphologieanalysen (XPS, SIMS, FTIR, TXRF, XRD)
  • Minoritätsladungsträger-Lebensdauermessungen (ELYMAT/µ-PCD)

Elektrische Messtechnik

  • Halbautomatische und automatische Strom-Spannungs- (I/V) und Kapazitäts-Spannungs- (C/V) Messungen auf Substraten mit bis zu 300mm Durchmesser
  • Messgeräte zur Charakterisierung von Halbleiterspeichern
  • Messplatz zur elektrischen Charakterisierung von Solarzellen

Lehrveranstaltungen

Neben Forschungsaufgaben bietet der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente auch ausgewählte Lehr- und Fortbildungsveranstaltungen für externe Nutzer an:

Nach oben



Letzte Änderung: 08.04.2011 - 13:26 Uhr GMT +1
Fragen zu dieser Seite richten Sie bitte an: webmaster@leb.eei.uni-erlangen.de