Studentische Arbeiten am LEB
Abgeschlossene Arbeiten
2013
1999
Sonstige
- Analyse der nichtlinearen Empfindlichkeit sensitiver Schichten von ionensensitiven Feldeffekttransistoren (Diplomarbeit)
Michael Wiendl- Bestimmung von Profilparametern periodischer Sub-Mikrometerstrukturen durch neuronale Klassifizierung optischer Beugungssignaturen (Diplomarbeit)
Zekeriya Mansuroglu- Charakterisierung von CMOS-Bauelementen und Extraktion von Parametern für die Schaltungssimulation (Studienarbeit)
Karsten Linzmeier- Degradation und Zuverlässigkeit ultra-dünner Oxide nach Implantation von Dotierstoffen in und durch die Gateelektrode (Diplomarbeit)
Christian Grünsfelder- Entwicklung von MOS-Teststrukturen zur Prozeßspezifikation (Studienarbeit)
Melanie Alt- Entwurf und Charakterisierung eines Solarzellenprozesses (Diplomarbeit)
Tobias Dirnecker- Entwurf und Optimierung einer Signalvorverarbeitung für ionensensitive Feldeffekttransistoren (Studienarbeit)
Andreas Rother- Erstellung einer Steuerungs- und Kalibrierungssoftware für ein in situ-Partikelmeßgerät zum Einsatz in der Halbleiterfertigung (Studienarbeit)
Zekeriya Mansuroglu- Homogenitätsoptimierung eines Implantationsmoduls (Diplomarbeit)
Johannes Bartoschek- Inbetriebnahme und erste Experimente an einem Totalreflexionsspektrometer (TXRF) für Siliciumscheiben (Studienarbeit)
Michael Wiendl- Modifikation des ELYMAT-Meßverfahrens durch Messung mit intensitätsmoduliertem Licht (Studienarbeit)
Thomas Walther- Optimierung des Kontrollkonzeptes für Hochenergie-Implantationsanlagen (Diplomarbeit)
Volker Prueller- Optimierung des Reinigungsverfahrens „Standard Clean 1 (SC1)" (Studienarbeit)
Martin Lemberger- Realisierungsmöglichkeiten von physikalischen und chemischen Sensoren mit CMOS-Standardprozeßschritten (Studienarbeit)
Hüseyin Daglioglu- Simulation einer Kommunikation von Halbleiterfertigungsgeräten nach dem SECS-Standard (Studienarbeit)
Robert Birnthaler- Untersuchung der Kontamination bei der Ionenimplantation (Diplomarbeit)
Roland Weiß- Verbesserung der Diodenparameterbestimmung durch Vergleich von simulierten mit gemessenen Strom-Spannungs-Kennlinien (Studienarbeit)
Alexandra Stalidou- Vermessung von Kohlenstoff-Interdigitalelektroden für die Biosensorik (Diplomarbeit)
Tim Use