Student projects and theses
Completed theses
2013
1997
Others
- Aufbau einer Station zum anisotropen Ätzen von Silicium mit verbesserter Reproduzierbarkeit des elektrochemischen Ätzstops (Diplomarbeit)
Kristian Kraus- Automatisierung der Meßroutine in einem XPS-Meßmodul (Diplomarbeit)
Ralf Automatisierung der Meßroutine in einem XPS-Meßmodul- Detektion von Partikeln in Vakuumkammern durch Laser-Streulichtmessung (Diplomarbeit)
Nalan Kilicoglu- Development and Characterization of Single-Poly (E)EPROM Cells (Diplomarbeit)
Roland Bucksch- Diodenparameterbestimmung durch Vergleich von gemessenen mit simulierten IV-Kennlinien (Diplomarbeit)
? Inayat-Ur-Rahman- Einsatz von Stickstoff-Implantation zur Optimierung des Gateoxids (Diplomarbeit)
Peter Mayer- Entwicklung eines Programms zur Kontrolle von Plasmaätzprozessen unter Verwendung von in-situ-Meßverfahren (Studienarbeit)
Ingbert Sigovich- Ermittlung der Ersatzschaltbildparameter einer Halbleiter / Elektrolytzelle (Studienarbeit)
Andreas Munk- Erstellung eines Prozeßentwicklungs- und -kontrollsystems (Studienarbeit)
Georgios Parissis- Herstellung und Charakterisierung von Gatestrukturen fr rückseitenkontaktierte ionensensitive Feldeffekttransistoren (Diplomarbeit)
Jürgen Donhäuser- Herstellung von Aluminiumnitridschichten für Oberflächenwellenbauelemente (Diplomarbeit)
Lijun Peng- Herstellung von Dioden mit einem großflächigen Phosphor-Implantationsmodul ohne Massenseparation (Studienarbeit)
Nadja Reiner- Herstellung von nanostrukturierten Rastersonden mittels fokussierter Ionenstrahlen (Diplomarbeit)
Tobias Müller- in-situ Ellipsometrie in einer Mehrkammerprozeßanlage (Studienarbeit)
Martin Schellenberger- Kontaktwiderstandsmessung an Solarzellen mit der Transfer Length Methode (Studienarbeit)
Michael von Mackensen- Optimierung des Herstellungsprozesses von SPEED-Dioden für die industrielle Produktion (Diplomarbeit)
Sven Berberich- Optimierung von Prozeßschritten in der Lithographie (Diplomarbeit)
Georg Bedenk- Sicherheitstechnische Aspekte des Ozoneinsatzes in der Siliciumscheibenreinigung und Untersuchungen zum Löslichkeitsverhalten von Ozon in wäßrigen Lösungen (Studienarbeit)
Michael Freitag- Siliciumscheiben-Reinigungsmodul zur Anwendung von verdünnten Chemikalien und von ozonisiertem Reinstwasser (Diplomarbeit)
Klaus Meßmann- Solarzellenparameterbestimmung durch Vergleich von gemessenen mit simulierten Kennlinien (Studienarbeit)
Philip Schamberger- Texture in ULSI Metallizations (Diplomarbeit)
Stefan Spinler- Untersuchung geeigneter Ätzstopmechanismen zur Herstellung von chemischen Flüssigkeitssensoren mit dem sensitiven Bereich auf der Scheibenrückseite (Diplomarbeit)
Christoph Theilen- Untersuchung von LPCVD Siliciumnitrid als ionensensitive Schicht nach Oberflächenbehandlung mittels thermischer Nitridierung (Studienarbeit)
Nikolaos Arnis- Untersuchung von Temperaturprofilen in einem Vertikalofen für chemische Gasphasenabscheidungen und Oxidationen (Diplomarbeit)
Sabine Wellner- Untersuchung zum Einsatz Neuronaler Netze für die Identifikation von Halbleiterfertigungsprozessen (Diplomarbeit)
Ulrich Hofmann