Student projects and theses
Completed theses
2013
1987
Others
- Anbau eines Elektronenstrahlverdampfers an eine Hochstromionenimplantationsanlage zum ionenstrahlgestützten Aufdampfen dünner Schichten (Diplomarbeit)
Uwe Bonnes- Ansteuerung eines Waferprobers zur Bestimmung von Halbleiterparametern (Studienarbeit)
Thomas Falter- Aufbau und Inbetriebnahme einer Lichtleiterstrecke zur potentialgetrennten Übertragung einer Spannung (Studienarbeit)
Werner Schmidt- Entwicklung einer PC-Version des Prozeßsimulationsprogrammes ICECREM (Diplomarbeit)
Olaf Schmalfuß- Herstellung und Untersuchung von Dioden mit MoSi2- und TaSi2-Kontakt (Studienarbeit)
Christine Dehm- Herstellung von vergrabenen isolierenden Schichten im Silicium durch Ionenimplantation und Untersuchung der kristallographischen Eigenschaften (Diplomarbeit)
Rainer Schork- Thermische Oxidation und Kurzzeitoxidation von Dünnoxiden nach verschiedenen Reinigungsverfahren der Siliciumscheiben und Untersuchung der Oxidschichten (Diplomarbeit)
Richard Wiget- Thermische Oxidation von 100 Silicium in pyrogenem H2O bei 750, 800, 850 und 1000 °C (Studienarbeit)
Rudolf Berger- Untersuchung der Eigenschaften von APCVD-Siliciumnitrid und seine Anwendung als Passivierungsschicht für hochsperrende Halbleiterleistungsbauelemente (Diplomarbeit)
Andrea Tilgner- Untersuchung der Grenzflächeneigenschaften thermischer Siliciumdioxid / Silicium-Strukturen in Abhängigkeit von Temperbehandlungen (Diplomarbeit)
Pamela Matthies