Student projects and theses
Completed theses
2013
1988
Others
- Aufbau eines Meßplatzes zur Bestimmung der Minoritätsladungsträgerlebensdauer sowie der Oberflächengenerationsgeschwindigkeit an MOS-Strukturen mit Hilfe der "Zerbst"-Methode (Studienarbeit)
Martin Hemmerlein- Aufbau und Erprobung eines Multidetektors für die Ionenimplantation (Diplomarbeit)
Werner Schmidt- Charakterisierung von SOI-Material durch elektrische Messungen (Diplomarbeit)
Christine Dehm- Einsatz von reaktivem Ionenstrahlätzen (RIBE) in der Siliciumtechnologie AM Beispiel von Polysilicum (Diplomarbeit)
Georg Roeder- Entwicklung eines Programmpaketes zur graphischen Darstellung von Meßdaten (Studienarbeit)
Manfred Selz- Herstellung und Untersuchung von NMOS-Strukturen (Diplomarbeit)
Thomas Falter- Korngefüge und Leitfähigkeit von Polysilicium als Funktion der Abscheidetemperatur im Niederdruckbereich (Diplomarbeit)
U. Ehrmann- Untersuchung des Oxidwachstums, der Defektdichte und Ausdehnung und der elektrischen Oxidqualität in Abhängigkeit des HCl-Anteils im Prozeßsauerstoff (Studienarbeit)
Ute Harreiß