Studentische Arbeiten am LEB
Abgeschlossene Arbeiten
2013
1990
Sonstige
- Ätzverhalten von verschieden hergestellten Silicumoxiden mit fluorhaltigen Gasen (Studienarbeit)
S. Köhler- DLTS-Messungen an Goldprofilen (Studienarbeit)
Katharina Haas- Elektrische Charakterisierung von Dielektrika (Diplomarbeit)
Emil Heimerl- Ermittlung von Prozeßeinflüssen auf Teststrukturen zur elektrischen Linienbreitenmesung im Halbleiterfertigungsprozeß (Studienarbeit)
Ulrich Düsel- Erstellung einer Softwareschnittstelle zwischen CAD-Programmen zur Masken-Layout-Erstellung (Studienarbeit)
Klaus Will- Erstellung eines Programms für die Berechnung der Probenerwärmung bei der Ionenimplantation (Studienarbeit)
Alexander Wilhelm- Erweiterung der Meßmöglichkeiten des ELYMAT zur Charakterisierung von Denuded Zones (Studienarbeit)
Michael Staiger- Experimentelle Untersuchungen zur Diffusion von Phosphor in Silicium (Studienarbeit)
Jochen Gronemann- Herstellung und Charakterisierung von Hochtemperatur Siliciumoxynitridschichten (Diplomarbeit)
Beate Schmaus- Herstellung und Charakterisierung von Rhodium-Silizid (Diplomarbeit)
Gislind Neuner- Herstellung von dünnen Schichten mit Hilfe ionenstrahlgestützer Aufdampfung (Diplomarbeit)
Bahram Haji-Seyed-Javadi- Kristallographische und elektrische Messungen an implantiertem Si3N4-Schichten, hergestellt durch ein neuartiges Heizverfahren während der Ionenimplantation (Diplomarbeit)
Michael Berger- Simulationen zur Getterung von Gold durch Phosphor (Studienarbeit)
Carsten Schulz- Software- Erstellung zur graphischen Darstellung von Meßdaten (Diplomarbeit)
Jürgen Franke- Untersuchung der Grenzen der Mikroelektronik durch statistische Schwankungen von Prozeßparametern (Diplomarbeit)
Thomas Mikolajick- Vergleich von Meßmethoden zur Erfassung der Stromstärke eines Ionenstrahls (Studienarbeit)
K.-H. Busch