Studentische Arbeiten am LEB
Abgeschlossene Arbeiten
2013
1991
Sonstige
- Einfluß der Kornstruktur auf den Leitfähigkeitsmechanismus gesputterter Metallschichten (Diplomarbeit)
Ralf Hammer- Einfluß von metallischen Verunreinigungen auf die Oxidqualität (Diplomarbeit)
Norbert Siegel- Einstellung des Flankenwinkels beim reaktiven Ionenätzen (Diplomarbeit)
Bernd Rabenstein- Elektrische Eigenschaften von sauerstoffdotierten polykristallinen Siliciumschichten (Studienarbeit)
Sören von Eberstein- Ermittlung der Meßbedingungen für das Meßverfahren ELYMAT durch theoretische Betrachtung des Halbleiter-Elektrolytsystems und Verifikation im Experiment (Studienarbeit)
Lothar Hofmeister- Ermittlung der Temperaturabhängigkeit des spezifischen Widerstands verschiedener Metallisierungsschichten (Studienarbeit)
Stefan Bartels- Experimentelles Meß- und Regelsystem für Oxidationsprozesse in der Halbleiterfertigung (Diplomarbeit)
Klaus Will- Herstellung und Charakterisierung von Tantaloxidschichten (Diplomarbeit)
Christine Ortleb- Herstellung und Untersuchung ionenstrahlgemischter Titan- und Cobaltsilizide (Diplomarbeit)
Raum Brigitte- in-situ-Schichtdickenmessungen an thermischen Siliciumdioxid (Studienarbeit)
Kersten Kaiser- Untersuchung der Dynamik der Clusterbildung von Arsen in Silicium (Diplomarbeit)
Volker Löbel- Untersuchung und Verbesserung einer Ionenimplantationsanlage für Metalle und Polymere (Studienarbeit)
Thomas Rückel- Untersuchung von vergrabenen isolierenden Schichten im Silicium, hergestellt durch Ionenimplantation im Temperaturbereich von 500-800 °C (Diplomarbeit)
Stephan Köhler- Untersuchungen zur in-sito Ellipsometrie beim reaktiven Ionenätzen (Studienarbeit)
Jacques Driessen