Studentische Arbeiten am LEB
Abgeschlossene Arbeiten
2013
1993
Sonstige
- 2d Simulation der Ionenimplantation auf PCs (Studienarbeit)
Stefan Schlenker- Automatisierung einer Implantationsbühne zur Verbesserung der Implantationshomogenität und zur Dosisüberwachung (Studienarbeit)
Jochen Scheldmeier- Bestimmung der Fremdatomart und -konzentration in Silicium mit Hilfe von Lebensdauer und Diffusionslängenmessungen (Studienarbeit)
Stephan Ney- Charakterisierung dünner SiO2-Filme, hergestellt durch schnelle thermische Oxidation (RTP) (Studienarbeit)
Frank Breitenbach- Charakterisierung der pH-Sensitivität von SiO2, Si3N4, Ta2O5 und TiO2 mit der CV-Methode (Studienarbeit)
Naoufel Ayachi- Charakterisierung Ionensensitiver Feldeffekttransistoren (Diplomarbeit)
Johann Scherer- Diffusionsverhalten von Übergangsmetallen auf Siliciumoberflächen im Niedertemperaturbereich (Studienarbeit)
Reinhard Schirner- Einfluß von Feuchte bei der trockenen Oxidation auf das Durchbruchsverhalten dünner Siliciumdioxidschichten (Diplomarbeit)
Peter Friedrichs- Einsatz von in-situ-Meßtechniken zur Optimierung eines RIE-Polysiliciumprozesses (Diplomarbeit)
Peter Schlarb- Elektrische Aktivierung von Arsen in Silicium (Studienarbeit)
Jochen Kranz- Erweiterung des theoretischen Modells zur Berechnung der Diffusionslängen für das ELYMAT-Verfahren und Verifikation im Experiment (Studienarbeit)
Dieter Brasin- Herstellung retrograder Wannen zur Latch-up-Unterdrückung (Diplomarbeit)
Klaus Körber- Herstellung und Charakterisierung von Dünnschicht-Ag/AgCl Referenzelektroden (Studienarbeit)
Andrea Schmitt- Herstellung und Charakterisierung von implantierten vergrabenen Rekombinationsschichten (Studienarbeit)
Marc Herden- Modelle zur Bestimmung der Diffusionslänge mit dem ELYMAT Verfahren (Studienarbeit)
Oliver Hassa- Neues Oxidationsmodul für ICECREM (Diplomarbeit)
Thorsten Schedel- Optimierung der Temperaturverteilung und des Energieverbrauchs von chemischen Sensoren (Diplomarbeit)
Andreas Götz- Optimierung von monokristallinen pn-Siliciumsolarzellen (Diplomarbeit)
Mathias Rommel- Photostrommessung mit intensitätsmoduliertem Laserlicht (Studienarbeit)
Hartmut Rosenberger- Temperaturmessung durch Bestimmung der Polarisationsänderung bei Totalreflexion in transparenten Schichten (Studienarbeit)
Walter Preiß- Temperaturregelung während der Hochtemperaturionenimplantation (Studienarbeit)
Jörg Wein- Untersuchung der Homogenität und Dosismessung bei verschiedenen Implantationsanlagen (Studienarbeit)
Thorsten Schedel- Untersuchung der Leitfähigkeit von implantierten Kunststoffen (Studienarbeit)
Christa Schmaus- Untersuchung der Sensibilität des elektrischen Durchbruchverhaltens von dünnen Gateoxiden gegenüber metallischen Verunreinigungen in Abhängigkeit von der Vorprozessierung der Siliciumscheiben (Studienarbeit)
Christian Marks- Untersuchung des Ausgasverhaltens von implantierten Kunststoffen (Studienarbeit)
Franz German- Untersuchungen zum Einsatz einer Fuzzy-Regelung in schichtdickengeregelten Oxidationsprozessen (Diplomarbeit)
Christian Marks- Windows-Oberfläche für ICECREM (Studienarbeit)
Frank Roelofs