Studentische Arbeiten am LEB
Abgeschlossene Arbeiten
2013
1994
Sonstige
- Alternative Gate-Dielektrika für 0,18µm Schaltungen (Studienarbeit)
Jochen Kilger- Aufbau eines Meßplatzes zur Charakterisierung von Gassensoren (Diplomarbeit)
Hans-Peter Landgraf- Beeinflussung des elektrischen Schaltverhaltens und parasitärer Effekte in CMOS Bauelementen mit retrograden Wannen und vergrabenen Rekombinationsschichten (Diplomarbeit)
Marc Herden- Bestimmung der Diffusionslänge mit vertikaler Auflösung mittels Diffusionslängen- und Lebensdauermeßverfahren (Diplomarbeit)
Sebastian Eidloth- Charakterisierung von Si-Oberflächen mit AFM (Studienarbeit)
Jörg Falkenberg- Einfluß statistischer Dotierungsschwankungen auf die Einsatzspannung eines Kurzkanaltransistors (Studienarbeit)
Volker Häublein- Elektrische Charakterisierung von dielektrischen Tantalpentoxid-Schichten (Studienarbeit)
Udo Heinzel- Entwicklung einer Fuzzy-Regelung für 3-Zonen-Vertikalöfen mit aktiver Kühlung (Studienarbeit)
M. Zuber- Entwicklung eines Laserstrahl - Detektorsystems (Studienarbeit)
Wolfgang Lehnert- Entwicklung eines selbstjustierenden Prozesses für einen MOS-Leistungstransistor auf SDB-Material (Diplomarbeit)
Jörg Wein- Entwicklung und Realisierung eines hochauflösenden Kamerasystems, das zur Bidlaufnahme bei Specleinterferometrischen Messungen sowie in weiteren wissenschaftlichen Meßaufbauten eingesetzt werden soll (Diplomarbeit)
Jörg Drescher- Entwicklung von Prozeßschritten zur Herstellung von Mehrlagenmetallisierung (Diplomarbeit)
Jörg Vierhaus- Erstellung eines modularen Programms zur Vakuumsteuerung auf einem Rechner mit Multitasking-Echtzeit-Betriebssystem (Studienarbeit)
Ingo Lachner- Erzeugung von Strukturen im Nanometerbereich mittels fokussierter Ionenstrahlen (Studienarbeit)
Kirsten Schuh- Herstellung und Charakterisierung von schwingenden Mehrschichtmembranen für mikrosystemtechnische Anwendungen - Aufbau eines optischen Schwingungsmeßsystems (Diplomarbeit)
Matthias Niethammer- Herstellung und elektrische Charakterisierung von ONO-Dreifachschichten mit einem Niederdruckoxid als Bodenoxid (Studienarbeit)
Stephan Wetzel- Möglichkeiten der winkelaufgelösten TXRF für die Kontaminationsanalytik von Siliciumoberflächen (Diplomarbeit)
Mathias Kügel- Messen und Simulieren von Implantationsprofilen (Studienarbeit)
Jürgen Frickinger- Messung des spezifischen Widerstandes von dotiertem Silicium bei Temperaturen über 600 °C (Diplomarbeit)
Paraskewas Zormbalas- Metallkontamination von Siliciumoberflächen bei der naßchemischen Reinigung in der Halbleitertechnologie (Diplomarbeit)
Talal Quasim- MOCVD-Tantalpentoxid als sensitive Schicht für ISFETs (Studienarbeit)
Ralph Kühnhold- Naßchemische Strukturierung von Ta2O5-Schichten (Studienarbeit)
Peter Tuschinski- Optimierung von LPCVD Siliciumnitrid zum Einsatz in ionensensitiven Feldeffekttransistoren (Studienarbeit)
Volker Uffelmann- Optoelektronische Streulichtmessung (Diplomarbeit)
Stefan Resch- Programmierung einer Steuerung für eine MOCVD-Anlage (Studienarbeit)
Robert Weikert- Schichtdickenmessungen an dünnen Siliziumdioxidschichten mittels Ellipsometrie und Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie (Diplomarbeit)
Stefan Schuler- Silicon-Direct-Bonding (SDB) - Herstellung und Charakterisierung von pn-Übergängen und vergrabenen isolierenden Schichten (Studienarbeit)
Hans-Georg Schinner- Softwaremäßige Automatisierung der Signalauswertung eines optischen Schwingungsmeßsystems (Michelson-Interferometer) (Diplomarbeit)
Serge Buchez- Untersuchung der Oberflächenleitfähigkeit implantierter Polymere mittels kontaktloser Spannungsmessung (Studienarbeit)
Horst Bierhals- Untersuchung des Einflusses der Ionenimplantation auf die Benetzbarkeit von Kunststoffen (Studienarbeit)
Robert Gottschalk- Untersuchung des Einflusses von Quarzmaterial auf Testbauelemente (Studienarbeit)
Michael Wohs- Untersuchung phosphorimplantierten Siliciums mittels hochauflösender Röntgendiffraktometrie (Diplomarbeit)
Markus Remmler- Verbesserung eines Meßplatzes zur Charakterisierung von Solarzellen (Studienarbeit)
Landulf Jäger