Studentische Arbeiten am LEB
Abgeschlossene Arbeiten
2013
1995
Sonstige
- Aufbau einer Meßelektronik für eine amperometrische pO2-Elektrode (Studienarbeit)
Matthias Striebich- Aufbau eines Dosisintegrators und eines Massenanalysators für ein neuartiges Implantationssystem (Diplomarbeit)
Boris Grassmann- Aufbau eines Fließinjektionssystems für ISFETs (Studienarbeit)
Armin Teuchert- Charakterisierung eines Polysiliciumätzprozesses mittels In-situ Meßtechnik und statistischer Versuchsplanung (Diplomarbeit)
Thomas Schiml- Chemische Ätzverfahren zur Bestimmung zweidimensionaler Dotierprofile (Diplomarbeit)
Jürgen Frickinger- Design von Beschleunigungssensoren und Optimierungsanalysen mittels der Methode der Finiten Elemente (Diplomarbeit)
Ralf Kühnhold- Dotierung von SiC durch Ionenimplantation (Diplomarbeit)
Oliver Hassa- Einfluß von thermischen Kurzzeitprozessen auf die Verteilung von Gitterleerstellen in Silicium (Diplomarbeit)
Michael Wohs- Elektronischer Aufbau eines Präzisionstemperaturmeßgerätes (Studienarbeit)
Mathias Hoose- Entwicklung einer automatischen Scheibenbe- und -entladevorrichtung für einen Vertikalofen mit integrierter ellipsometrischer Schichtdickenmessung während des Entladevorganges (Diplomarbeit)
Wolfgang Lehnert- Entwicklung einer Parallelplattenionenquelle (Studienarbeit)
Frank Schröppel- Entwicklung eines automatischen Justiersystems für Ellipsometrie mit Piezo-Taumeltisch (Studienarbeit)
Ralph Trunk- Entwicklung thermoelektrischer Infrarotdetektoren im Wellenlängenbereich von 1 bis 15 µm (Studienarbeit)
Johannes Schuster- Entwicklung von Prozessen zur Herstellung chemischer Flüssigkeitssensoren mit dem sensitiven Bereich auf der Scheibenrückseite (Diplomarbeit)
Volker Häublein- Herstellung und Charakterisierung von Gassensoren auf der Basis von halbleitenden Metalloxiden (Diplomarbeit)
Reinhard Schirner- Herstellung und Charakterisierung von Iridiumsilicid-Photodioden für den Wellenlängenbereich von 2-12 µm (Diplomarbeit)
Christa Schmaus- Herstellung und Charakterisierung von Mikrostreifenleitungen (Studienarbeit)
Thorsten Sasse- Herstellung und Charakterisierung von schnellen Leistungsdioden mit selbstgesteuerter p-Emitterwirksamkeit (Studienarbeit)
Joseph Semmler- Integration von spektralellipsometrischer in-situ Schichtwachstumskontrolle in eine Vertikalofen-Steuerung (Studienarbeit)
Markus Oischinger- Kraftmikroskopische Abbildung von Siliciumoberflächen (Studienarbeit)
Michael Müller- Lokaler Schichtabtrag mittels ionenstrahlgestütztem Ätzen (Diplomarbeit)
Franz German- Mikrobereichsanalyse integrierter Schaltungen mittels ToF-SIMS (Diplomarbeit)
Jörg Falkenberg- Optimierung der Titansilicidbildung und Ionenimplantation zur Herstellung ultraflacher pn-Übergänge (Studienarbeit)
Gunnar Bendel- Programmierung der Steuerung einer Belackungs- und Entwicklungsanlage (Studienarbeit)
Joachim Parsch- Simulation und quantitative Auswertung von TXRF-Spektren (Diplomarbeit)
Christian Brand- Tiefenprofilierung dünner Siliciumdioxidschichten und flacher Implantationsprofile mittels Flugzeit-Massenspektroskopie (Diplomarbeit)
Roland Scholz- Untersuchung der Gateoxidqualität in Abhängigkeit von metallischen Verunreinigungen auf der Siliciumoberfläche (Diplomarbeit)
Robert Weikert- Vergleich der Zwei- und Dreielektrodenkonfiguration beim elektrochemischen Ätzen von Siliciummembranen für mikrosystemtechnische Anwendungen (Studienarbeit)
Jens Laufer