Student projects and theses
Completed theses
2013
1996
Others
- Aufbau und Test eines Mikrodosiersystems (Diplomarbeit)
Hans-Peter Habermeier- Automatische Prozeß-zu-Prozeß-Optimierung und -kontrolle bei CVD-Batchprozessen mit Hilfe von in-situ-Meßtechnik und SPC (Diplomarbeit)
Michael Treu- Charakterisierung eines neuen Niederenergie-Implantationsmoduls (Diplomarbeit)
Gunnar Bendel- Charakterisierung eines Solarzellenprozesses anhand von Lebensdauermessungen (Studienarbeit)
Ingo Banski- Definition und Realisierung einer 3,3V Version auf Basis einer vorhandenen 5V CMOS 4Mbit DRAM Technologie (Diplomarbeit)
Frank Schröppel- Dosis- und Homogenitätsmessungen an einem Ionen-Dusch-Implantationsmodul (Diplomarbeit)
Michael Jank- Entwicklung einer Fuzzy-Regelung zur Optimierung des thermischen Verhaltens eines Vertikalofens und Implementierung in ein selbständiges Steuerungsmodul (Studienarbeit)
Uwe Grüner- Entwicklung einer Prozeßkontroll-Architektur für CVD-Vertikalöfen mit Integration von in-situ Spektralellipsometrie (Diplomarbeit)
Thorsten Sasse- Entwicklung eines Programms für einen Kapazitäts-Spannungs-Meßplatz (Studienarbeit)
Roland Bucksch- Entwicklung von Verfahren zur Kontrolle und Regelung von Plasmaätzprozessen unter Verwendung von in-situ-Meßtechniken (Diplomarbeit)
Thomas Hartlehnert- Erstellen von Software-Treibern in der Programmiersprache C unter OS2 (Studienarbeit)
Marcus Müller- Erstellung einer Benutzeroberfläche für ein Anästhesiegasmeß- und -dosiersystem mit dem Softwarepaket Labview II (Studienarbeit)
Thomas Meister- Erstellung und Test eines Patterngenerators für die Mikrobearbeitung mittels FIB (Studienarbeit)
Ahmet Damli- Herstellung eines Luftfeuchtigkeitssensors mit Hilfe poröser Al2O3-Schichten (Diplomarbeit)
Joachim Parsch- Herstellung und Charakterisierung ferroelektrischer Schichten (Diplomarbeit)
Oliver Krause- Herstellung und Charakterisierung hochohmiger Dünnschicht-Widerstandsarrays für elektronische Implantate (Studienarbeit)
Kristian Kraus- Herstellung und Untersuchung von Vibrationssensoren (Diplomarbeit)
Axel Rohrmann- Herstellung von Gittern für eine Ionenduschanlage (Studienarbeit)
Martin Hillmert- Implementierung einer Softwareschnittstelle in ein Meß- und Steuerprogramm für Röntgenstrahl-Photoelektronen-Spektroskopie (Studienarbeit)
Stefan Sommer- Integration eines monochromatischen in-situ-Ellipsometers in einen Vertikalofen und Test auf industriekompatible Einsetzbarkeit (Diplomarbeit)
Ralph Trunk- Möglichkeiten der elektrischen Analyse integrierter Schaltungen mittels Mikrosonden (Studienarbeit)
Peter Mayer- Simulation des Herstellungsprozesses und des elektrischen Verhaltens von CMOS-Bauelementen (Diplomarbeit)
Armin Teuchert- Steuerung eines XPS-Meßmoduls für ein Mehrkammer- Vakuumprozeßsystem (Diplomarbeit)
Oliver Lorz- Untersuchung der Channeling-Effekts bei der Ionenimplantation in Silicium unter großen Einfallswinkeln (Studienarbeit)
Björn Katscher- Untersuchungen über die Injektionsabhängigkeit der Minoritätsträger-Rekombinationslebensdauer in Silicium mit Hilfe des ELYMAT-Verfahrens (Studienarbeit)
Michael Jank