Studentische Arbeiten am LEB
Abgeschlossene Arbeiten
2013
1998
Sonstige
- Charakterisierung neuer Materialien für die ionenstrahlinduzierte Materialabscheidung (Diplomarbeit)
Rudolf Czech- Charakterisierung von dünnen Mehrschichtsystemen mittels Thermowellenanalyse (Diplomarbeit)
Carola Böhm- Dünnschichttechnologische Herstellung und Charakterisierung rückseitenkontaktierter Elektrode (Diplomarbeit)
Reinhard Baumgärtner- Elektrische Charakterisierung von ferroelektrischen Schichten (Studienarbeit)
Roland Weiß- Entwicklung und Charakterisierung von Mikroventilen für fluidische Medien (Diplomarbeit)
Reinhold Waller- Entwicklung, Simulation, Aufbau und Test eines Sensorwetternestes (Diplomarbeit)
Frank Hemmelmann- Erprobung und Optimierung eines Verfahrens zur Prozeßkontrolle für das reaktive Ionenätzen von Polysilicium (Studienarbeit)
Achim Schmidt- In-line Oberflächenkonditionierung mit anschließendem Aufwachsen von dünnen Oxiden mittels RTP für zukünftige DRAM-Speichergenerationen (Diplomarbeit)
Matthias Beichele- Mechanische Verkapselung von Vibrationssensoren und Integration in ein Mikrosystem (Studienarbeit)
Rudolf Czech- Optimierung eines nichtlinearen PIN-Reglers zur Steuerung eines Vertikalofens für die Halbleiterfertigung (Studienarbeit)
Michael Beer- Optimierung und Erweiterung der Steuerung einer modernen Implantationsanlage (Diplomarbeit)
Nadja Reiner- Partikeldetektion in einem naßchemischen Sprühprozeß in der Halbleiterfertigung (Diplomarbeit)
Achim Schmidt- Photolithographische Strukturierung auf anisotrop geätztem Silicium (Studienarbeit)
Reinhard Baumgärtner- Realisierung einer Feldbusverbindung mit Device Net zur Integration von intelligenten Sensoren (Diplomarbeit)
Matthias Langner- Realisierung eines Kontrollers für die Vorwärtssteuerung einer Lithographie-Ätz-Sequenz (Diplomarbeit)
Stefan Sommer- Setup of a double laser facility for characterization of silicon solar cells by photoresponse mapping (Diplomarbeit)
Günther Krauß- Simulation des Photostromes beim Elymat-Verfahren (Diplomarbeit)
Detlef Vieweg- The Influence of Post-Oxidation Anneals on Ultra-Thin RTO Grown SiO2 Gate Oxides (Studienarbeit)
Christian Grünsfelder- Untersuchung der Platindiffusion an Siliciumscheiben mit Epitaxieschicht (Studienarbeit)
Vissarios Koutsivetas- Untersuchung und Konzipierung von vorwärtsgekoppelten Prozeß-zu-Prozeß-Steuerungen für eine Integration in eine Fertigungssteuerung bei der Halbleiterfertigung (Studienarbeit)
Tobias Dirnecker- Vergleich des Mikrowellen- und des Elymat-Meßverfahrens zur Bestimmung der Minoritätsladungsträgerlebensdauer (Studienarbeit)
Markus Pfeffer- Weiterentwicklung eines Kommunikationstesters für Halbleiterfertigungsgeräte (Diplomarbeit)
Martin Schellenberger