Entwicklung eines Energie bzw. Ressourcen Effizienz Modells zur Bewertung von Halbleiterfertigungsanlagen
Studien-/ Diplom- /Bachelor- /Masterarbeit
Bearbeitungsstatus:
offen
Betreuer:
- Pfeffer, Markus (FHG-IISB, Tel. 09131 / 761-114, E-Mail: markus.pfeffer@iisb.fraunhofer.de)
- Öchsner, Richard (FHG-IISB, Tel. 09131 / 761-116, E-Mail: richard.oechsner@iisb.fraunhofer.de)
- Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
Beschreibung
Diplom-/Masterarbeit für EEI/Mechatronik/WING
Anhand ausgewählter Beispiele ist ein Energie- bzw. Ressourcen-Effizienz-Modell für Halbleiterfertigungsanlagen zu erstellen. Hierbei ist ein modularer Aufbau zur berücksichtigen, um vordefinierte Systemkomponenten (z. B. Vakuumsystem) für unterschiedliche Anlagen bzw. Anlagenkonfigurationen einsetzbar zu machen. Die Daten sind aus der Literatur, durch Befragung oder durch direkte Messungen an Anlagen zu gewinnen. Das erstellte Modell soll möglichst flexibel auf unterschiedliche Anlagen übertragbar sein. Ein möglicher Indikator für die Energie als auch Ressourceneffizienz könnte der sog. „Carbon Footprint" sein, das heißt die Umrechnung von Ressourcen in ein Kohlendioxid-Äquivalent anhand von Konversionsfaktoren. Hierzu sind Umrechnungsmöglichkeiten aus der Literatur zu extrahieren und zu implementieren, welche auch standortbedingte Unterschiede abbilden können.