Kristallographische Untersuchungen an ionenimplantierten vergrabenen Schichten in Silicium
Diplomarbeit
Bearbeitungsstatus:
abgeschlossen
Bearbeiter:
Herbert Wein
Betreuer:
- Schork, Rainer
Abschlussjahr:
1989
Letzte Änderung: 08.09.2011 - 10:58 Uhr GMT +1
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