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Untersuchung phosphorimplantierten Siliciums mittels hochauflösender Röntgendiffraktometrie

Diplomarbeit

Bearbeitungsstatus:
abgeschlossen
Bearbeiter:
Markus Remmler
Betreuer:

• Gong, L.
• Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey

Abschlussjahr:
1994

Beschreibung

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