Produktion in der Siliciumtechnologie
Allgemein
Dozent(en)
- Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
- Dr.-Ing. Thomas Frick
- Übung: Assistenten
Wintersemester 2012
Semester
- ME-BA-MG8: 3.-6. Semester
- ME-MA-MG8: 1.-3. Semester
SWS
- 2 SWS
Zeit und Ort
- wöchentlich dienstags von 16:00 bis 17:30, Hans Georg Waeber Saal
Beschreibung
"Produktion in der Siliciumtechnologie" (ehemals "Produktion in der Elektrotechnik 1") behandelt entlang der
gesamten Prozesskette die für die Elektronikproduktion notwendigen
Prozesse und Materialien.
Dabei wird auf die Bauelementetechnologie, die Prozesschritte zur
fertigen elektronischen Baugruppe, die notwendigen Aspekte der Qualitätssicherung
und Materiallogistik und natürlich auch auf das Recycling gesondert
eingegangen.
In der Vorlesung werden zunächst die Fertigungsschritte für mikro- und nanoelektronische Bauelemente sowie die besonderen Anforderungen an eine Halbleiterfertigung behandelt.
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