Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente
Allgemein
Dozent(en)
- Assistenten
- Dr.-Ing. Tobias Dirnecker
Wintersemester 2012
Semester
- ME-DH-PEEI: 5.-10. Semester
- EEI-BA-MIK: ab 5. Semester
- EEI-MA-MIK: ab 1. Semester
- EEI-MA-LE: ab 1. Semester
- EEI-BA-LE: ab 5. Semester
- ME-MA-P: 1.-3. Semester
SWS
- 3 SWS
Zeit und Ort
- wöchentlich mittwochs von 8:30 bis 12:30, Besprechungs-/Sozialraum LEB
- wöchentlich mittwochs von 8:30 bis 10:00, Seminarraum 0.111
Sommersemester 2013
Semester
- ME-DH-PEEI: ab 5. Semester
- EEI-MA-MIK: 1.-4. Semester
- EEI-BA-MIK: 5.-6. Semester
- EEI-BA-S: 5.-6. Semester
- EEI-BA-LE: 5.-6. Semester
- EEI-MA-LE: 1.-4. Semester
- ME-MA: ab 1. Semester
SWS
- 3 SWS
Zeit und Ort
- wöchentlich mittwochs von 8:30 bis 12:00, Seminarraum 0.111
- Einzeltermin am 2013-07-03 von 8:30 bis 12:00, Besprechungs-/Sozialraum LEB
Wintersemester 2013
Semester
- ME-DH-PEEI: 5.-10. Semester
- EEI-BA-MIK: ab 5. Semester
- EEI-MA-MIK: ab 1. Semester
- EEI-MA-LE: ab 1. Semester
- EEI-BA-LE: ab 5. Semester
- ME-MA-P: 1.-3. Semester
SWS
- 3 SWS
Zeit und Ort
- wöchentlich mittwochs von 8:30 bis 12:30, Besprechungs-/Sozialraum LEB
- wöchentlich mittwochs von 8:30 bis 10:00, Seminarraum 0.111
Hinweis
Praktikum wird am Mittwoch Vormittag angeboten. Wichtig: Teilnahme an Vorbesprechung am 15.10.2012 um 15:00 Uhr im Hans-Georg-Waeber-Saal! ANMELDUNG über StudON
Beschreibung
Das Praktikum zur Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die
Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation,
Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Meßverfahren zur
Prozeßkontrolle wie Schichtdickenmeßverfahren, Schichtwiderstandsmeßverfahren vorgestellt und zum Schluß die
hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).
Empfohlene Literatur
- Frey, L., Technologie integrierter Schaltungen, Folien zur Vorlesung Technologie integrierter Schaltungen
- Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994
UnivIS