Technik der Halbleiterfertigungsgeräte
Allgemein
Dozent(en)
- Prof. Dr.-Ing. Lothar Pfitzner
- Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Schmutz
Wintersemester 2012
Semester
- EEI-MA: ab 1. Semester
- EEI-BA: ab 5. Semester
- MB-DH: 5.-10. Semester
- ME-DH-VF8: 5.-7. Semester
- ME-BA-MG8: 3.-6. Semester
- ME-MA-MG8: 1.-3. Semester
- WW-DH-EL: 7.-13. Semester
SWS
- 2 SWS
Zeit und Ort
- wöchentlich mittwochs von 15:15 bis 17:45, Hans Georg Waeber Saal
Wintersemester 2013
Semester
- EEI-MA: ab 1. Semester
- EEI-BA: ab 5. Semester
- ME-BA-MG10: 3.-6. Semester
- ME-MA-MG10: 1.-3. Semester
- WW-DH-EL: 7.-13. Semester
SWS
- 2 SWS
Zeit und Ort
- wöchentlich mittwochs von 15:15 bis 17:45, Hans Georg Waeber Saal
Beschreibung
Die Vorlesung beschäftigt sich mit Fertigungsanlagen und Messgeräten für einzelne Prozessschritte der Halbleitertechnologie sowie mit der Integration verschiedener Prozessgeräte in einer Fertigungslinie. Besonders berücksichtigt werden dabei mechanische und elektrische Anlagentechnik, Maschinenelemente, Subkomponenten, Maschinensteuerung, Anlagenverkettung bis hin zu Betriebsstoffen und Sicherheitstechnik, aber auch Kosten und Ausbeutebetrachtungen. (Teil I - Technologie der Prozessgeräte: Cost-of-Ownership, Kontamination und Defekte, Ausbeute, AEC (Advanced Equipment Control), APC (Advanced Process Control), Einzelprozesstechnik: Anlagen zur Oxidation, Diffusion und Temperung, Implantationsanlagen, Geräte zur Strukturübertragung und zur Strukturierung, Geräte zur Schichtabscheidung und Metallisierung, Anlagen für Halbleitermesstechnik und Prozesskontrolle. Teil II - Fertigungslinien: Maschinen- und Anlagenkonzepte, Scheibenhandhabung und -transportsysteme, Partikelmesstechnik, Fertigungstechnik im Reinraum und CIM, Reinraumtechnik und Infrastruktur.)
Empfohlene Literatur
- Vorlesungsskript (gedruckt/auf CD/im WEB)
- C. Y. Chang, S. M. Sze: ULSI
- Technology, MacGraw-Hill, 1996
- R. P. Donovan: Contamination-Free Manufacturing for Semiconductors and Other Precision Products, Marcel Dekker Inc, 2001
- A. C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, Marcel Dekker Inc, 2001
- Yoshio Nishi: Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology, Marcel Dekker Inc, 2000
- Sematech Dictionary: www.sematech.org/publications/dictionary
Vorbesprechung
19.10.2011 ab 15:30 Uhr im Seminarsaal 2 (IISB, Schottkystr. 10, 1. OG)
Vorlesungsunterlagen
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