Technik der Halbleiterfertigungsgeräte

Allgemein

Dozent(en)

Wintersemester 2013

Semester

  • EEI-MA: ab 1. Semester
  • EEI-BA: ab 5. Semester
  • ME-BA-MG10: 3.-6. Semester
  • ME-MA-MG10: 1.-3. Semester
  • WW-DH-EL: 7.-13. Semester

SWS

  • 2 SWS

Zeit und Ort

  • wöchentlich mittwochs von 15:15 bis 17:45, Hans Georg Waeber Saal

Wintersemester 2014

Semester

  • EEI-MA: ab 1. Semester
  • EEI-BA: ab 5. Semester
  • ME-BA-MG10: 3.-6. Semester
  • ME-MA-MG10: 1.-3. Semester
  • WW-DH-EL: 7.-13. Semester

SWS

  • 2 SWS

Zeit und Ort

  • wöchentlich mittwochs von 15:15 bis 17:45, Hans Georg Waeber Saal

Beschreibung

Die Vorlesung beschäftigt sich mit Fertigungsanlagen und Messgeräten für einzelne Prozessschritte der Halbleitertechnologie sowie mit der Integration verschiedener Prozessgeräte in einer Fertigungslinie. Besonders berücksichtigt werden dabei mechanische und elektrische Anlagentechnik, Maschinenelemente, Subkomponenten, Maschinensteuerung, Anlagenverkettung bis hin zu Betriebsstoffen und Sicherheitstechnik, aber auch Kosten und Ausbeutebetrachtungen. (Teil I - Technologie der Prozessgeräte: Cost-of-Ownership, Kontamination und Defekte, Ausbeute, AEC (Advanced Equipment Control), APC (Advanced Process Control), Einzelprozesstechnik: Anlagen zur Oxidation, Diffusion und Temperung, Implantationsanlagen, Geräte zur Strukturübertragung und zur Strukturierung, Geräte zur Schichtabscheidung und Metallisierung, Anlagen für Halbleitermesstechnik und Prozesskontrolle. Teil II - Fertigungslinien: Maschinen- und Anlagenkonzepte, Scheibenhandhabung und -transportsysteme, Partikelmesstechnik, Fertigungstechnik im Reinraum und CIM, Reinraumtechnik und Infrastruktur.)

Empfohlene Literatur

  • Vorlesungsskript (gedruckt/auf CD/im WEB)
  • C. Y. Chang, S. M. Sze: ULSI
  • Technology, MacGraw-Hill, 1996
  • R. P. Donovan: Contamination-Free Manufacturing for Semiconductors and Other Precision Products, Marcel Dekker Inc, 2001
  • A. C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, Marcel Dekker Inc, 2001
  • Yoshio Nishi: Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology, Marcel Dekker Inc, 2000
  • Sematech Dictionary: www.sematech.org/publications/dictionary

Vorbesprechung

19.10.2011 ab 15:30 Uhr im Seminarsaal 2 (IISB, Schottkystr. 10, 1. OG)

Vorlesungsunterlagen

Zum Download-Bereich

Nach oben



Diese Seite wird täglich automatisch aktualisiert. Die Informationen werden aus dem Externer Link: UnivIS UnivIS generiert.
Fragen zu dieser Seite richten Sie bitte an: webmaster@leb.eei.uni-erlangen.de