Ausstattung
Geräteausstattung der Lehrstuhllabore
Elektrische Messtechnik: 149 m2
- Parameteranalyzer mit Impulsgeneratoren zur Extraktion von Bauelementeparametern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser
- Halbautomatische Messprober mit thermostatisierbaren Probenhaltern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser zur Halbleiterbauelementecharakterisierung mit Nadelkarten oder Mikromanipulatoren
- Impulsgeneratoren, Oszilliskop und Spannungsquellen zur transienten elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen mit problemspezifischen Messschaltungen
- Parameteranalyzer zur statischen Messung von elektrischen Bauelementeeigenschaften für Scheiben bis 150 mm Durchmesser
- Strom- und Spannungsquellen (Oxidstabilitätsmessungen) für Proben bis 300 mm Durchmesser
- LCZ- und CRL-Meter (C/V-Messung) zur Bauelementecharakterisierung und Parameterextraktion für Scheiben bis 200 mm Durchmesser
- Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Einzelhalbleiterbauelementen beim Schalten induktiver Lasten nach der Doppelimpulsmethode bis 600V (100A)
- Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Hochleistungshalbleitern kombiniert mit Einrichtung zur orts- und zeitaufgelösten Erfassung der IR-Rekombinationsstrahlung bis 10kV (1kA)
- Elektronenstrahltestgerat zur berührungslosen ortsaufgelösten Erfassung des elektrischen Potenzials auf der Oberfläche von Halbleiterbauelementen und ICs nach Potenzialkontrastmethode
- Messplatz mit Schlifftechnik zur tiefenaufgelösten Bestimmung des Schichtwiderstands und der Dotierstoffkonzentration (Spreading-Resistance)
- Messplatz mit Sonnensimulator und Pyranometer zur elektrischen Charakterisierung von Solarzellen
- Labortische mit Modulaufsätzen für elektronische Arbeiten
- Computerarbeitsplätze zur Auswertung und graphischen Aufbereitung von Messergebnissen
Chemielabore: 64 m2
- Chemikalienabzüge und Flowboxen
- Sauerstoff- und feuchtefreie Glovebox
- Lackschleuder und Heizplatte
- Schleifapparatur zur Probenpräparation
Mechanikwerkstatt: 33 m2
- Spanende und nichtspanende Materialbearbeitung
- Feinmechanikausstattung
Geräteausstattung des Reinraumlabors
Einen Überblick über die Geräte und Anlagen der Technologiehalle des LEB entnehmen Sie bitte der Beschreibung des Reinraumlabors.
Dienstleistungen des LEB
Mit der vorhandenen Geräteausstattung wird am Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente die Durchführung eines breiten Spektrums an Dienstleistungen für externe Nutzer angeboten.