Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Der von Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey geleitete Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) befasst sich mit der angewandten Forschung in den Bereichen Technologie und Fertigung elektronischer Bauelemente. Forschungsschwerpunkte des Lehrstuhls liegen bei der Entwicklung, Charakterisierung und Simulation neuer Herstellungsverfahren und Bauelemente sowie bei der Entwicklung und Optimierung von Anlagen und Materialien für die Mikro- und Nanoelektronik.
Panoramafoto mit Lehrstuhlgebäude (links), Reinraumlabor (mittig) und Fraunhofer IISB (rechts)
Der Lehrstuhl arbeitet eng mit dem vom Lehrstuhlinhaber in Personalunion geleiteten
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) zusammen.