Dr.-Ing. Tobias Dirnecker
| Name: | Dr.-Ing. Tobias Dirnecker
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| Postanschrift: | Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6
91058 Erlangen |
| Zimmer: | 1.157 |
| Telefonnummer: | ++49/9131/8528639 |
| Fax: | ++49/9131/8528698 |
| E-Mail: | Tobias.Dirnecker@leb.eei.uni-erlangen.de |
Lehrveranstaltungen
Wissenschaftliche Schwerpunkte
- Untersuchung von Aufladungseffekten während der Herstellung integrierter Schaltungen
- Bauelemente auf Germanium-Substrat
Betreute Arbeiten
2012
2011
2010
- Gatestapel und Reinigungsverfahren auf Germanium
- Untersuchung der Oxidation von Germanium
- Untersuchung von Ausheilvorgängen in Germanium
2007
2005
Publikationen
2007
2006
2005
2003
- »Characterization of charging damage in plasma doping«, Ion Implantation Technology, Taos, New Mexico, USA, 201-204 (2003)
- »Influence of Antenna Shape and Resist Patterns on Charging Damage During Ion Implantation«, Ion Implantation Technology, Taos, New Mexico, USA, 291-294 (2003)
- »Untersuchung von Aufladungseffekten«, Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISBIISB-Jahrestagung „Ionenstrahlen in der Siliciumtechnologie", Erlangen (2003)
2002
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UnivIS