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Prof. Dr.-Ing. Lothar Pfitzner

Name:	Prof. Dr.-Ing. Lothar Pfitzner
Postanschrift:	Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente Schottkystr. 10 91058 Erlangen
Zimmer:	124
Telefonnummer:	++49/9131/761110
Fax:	++49/9131/761112
E-Mail:	lothar.pfitzner@iisb.fraunhofer.de

Lehrveranstaltungen

• Technik der Halbleiterfertigungsgeräte

Betreute Arbeiten

2012

2009

Publikationen

2011

2010

2009

2008

2006

2005

2004

2003

• »Defect Inspection Method for Quality Control in a Reclaim Line«, Proceedings of the 4th European AEC/APC Conference 2003, 119 (2003)
• »Wafer Reclaim in Semiconductor Manufacturing«, VDMA Productronics 7th edition, 23 (2003)

2002

2001

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