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Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey

Name:	Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
Postanschrift:	Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente Cauerstr. 6 91058 Erlangen
Zimmer:	1.122
Telefonnummer:	09131/85-28633
Fax:	09131/85-28698
E-Mail:	lothar.frey@leb.eei.uni-erlangen.de
Sprechstunde:	wöchentlich dienstags 9:00 - 10:00 1.122 Bitte bei Sekretariat (1.121) anmelden.

Lehrveranstaltungen

• Anleitung zum wissenschaftlichen Arbeiten
• Übung zu Leistungshalbleiterbauelemente
• Halbleiterbauelemente
• Leistungshalbleiterbauelemente
• Nanoelektronik
• Produktion in der Siliciumtechnologie
• Prozessintegration und Bauelementearchitekturen
• Technologie integrierter Schaltungen

Betreute Arbeiten

2013

2012

2011

2010

2009

2002

1999

1997

1996

• Erstellung und Test eines Patterngenerators für die Mikrobearbeitung mittels FIB

1995

1994

1993

1992

Publikationen

2013

2012

2011

2010

2009

2008

2007

• »Impurity Conduction in Silicon Carbide«, Materials Science Forum 556-557, 367-370 (2007)
• »MOCVD of Hafnium Silicate Films Obtained from a Single-Source Precusor on Silicon and Germanium for Gate-Dielectric Applications«, Chemical Vapor Deposition 13, 105-111 (2007)
• »Tuning the dielectric properties of hafnium silicate Films«, Microelectronic Engineering 84, 2883 (2007)
• »UV nanoimprint materials: Surface energies, residual layers, and imprint quality«, Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 25, 785-790 (2007)

2006

2005

2004

2003

2002

2001

2000

1999

Nach oben

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