Dr.-Ing. Tobias Dirnecker
Name: Dr.-Ing. Tobias Dirnecker Postanschrift: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6
91058 ErlangenZimmer: 1.157 Telefonnummer: ++49/9131/8528639 Fax: ++49/9131/8528698 E-Mail: Tobias.Dirnecker@leb.eei.uni-erlangen.de
Lehrveranstaltungen
- Forschungspraktikum am LEB
- Integrierte Schaltungen, Leistungsbauelemente und deren Anwendungen
- Nano IV: Halbleiter
- Praktikum Mechatronische Systeme
- Praktikum Mikroelektronik
- Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente
- Seminar über Studentische Arbeiten
- Technologie medizinischer Mikrosysteme
Wissenschaftliche Schwerpunkte
- Untersuchung von Aufladungseffekten während der Herstellung integrierter Schaltungen
- Bauelemente auf Germanium-Substrat
Betreute Arbeiten
2012
2010
- Gatestapel und Reinigungsverfahren auf Germanium
- Untersuchung der Oxidation von Germanium
- Untersuchung von Ausheilvorgängen in Germanium
Publikationen
- »MOCVD of Hafnium Silicate Films Obtained from a Single-Source Precusor on Silicon and Germanium for Gate-Dielectric Applications«, Chemical Vapor Deposition 13, 105-111 (2007)
UnivIS