Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey

| Name: | Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
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| Postanschrift: | Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6 91058 Erlangen |
| Zimmer: | 1.122 |
| Telefonnummer: | 09131/85-28633 |
| Fax: | 09131/85-28698 |
| E-Mail: | lothar.frey@leb.eei.uni-erlangen.de |
| Sprechstunde: | wöchentlich dienstags 9:00 - 10:00
1.122
Bitte bei Sekretariat (1.121) anmelden.
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Lehrveranstaltungen
Betreute Arbeiten
2013
2012
2011
- Aufbau eines Schülerexperiments zum Thema Solarzellen
- Aufbau von Simulationsmodellen für die thermische Simulation von Reflowlötprozessen
- Charakterisierung der elektrischen und mechanischen Eigenschaften von Plasma-Dust-Cu-Schichten
- Charakterisierung eines PECVD-Prozesses zur Herstellung von Siliciumdioxidschichten
- Charakterisierung eines Siliziumkarbid Sperrschichtfeldeffekttransistors
- Charakterisierung und Validierung eines 4H- SiC Bipolartransistors der Firma TranSiC
- Entwicklung einer automatisierten Sprüheinrichtung
- Entwicklung einer Steuer- und Regelelektronik für ein Batterieladegerät
- Entwicklung einer Steuerung und Regelung für ein Ladegerät für Elektrofahrzeuge
- Entwicklung eines Batterie-Management-Systems für die Lithium-Eisen-Phosphat Batteriezellen eines Hybrid-Fahrzeugs auf einer dSpace-Micro-Autobox mit Matlab/Simulink
- Entwicklung eines Fahrzeug-Management-Systems für Elektrofahrzeuge
- Entwicklung eines Konzeptes zur energieeffizienten Klimatisierung von Elektrofahrzeugen
- Erstellung eines Simulationsmodells der Fahrgastzelle zur Klimatisierung von Elektrofahrzeugen
- Evaluation neuartiger Sinterpasten für die Aufbau- und Verbindungstechnik in der Leistungselektronik
- Flüssigphasenprozessierte ZnO-Halbleiterschichten aus molekularen Präkursoren
- Gerätesimulation basierend auf einer parametrisierten RTP-Reaktorgeometrie und Validierung ausgewählter Parameter
- Herstellung großflächiger PDMS-Stempel für die substratkonforme Imprintlithographie (SCIL)
- Herstellung und Charakterisierung von Aluminiumoxidschichten mittels Atomlagenabscheidung bei Temperaturen kleiner 150°C
- Implementierung eines Algorithmus zur Bestimmung des State of Charge (SOC) von Li-Ionen Batteriesystemen in automobilen Anwendungen
- Integration von Testmessungen an Halbleiterbauelementen mit einem mobilen Messplatz in eine Lehr-/Übungseinheit
- Kathodenzerstäubung von Gallium-Indium-Zinkoxid variabler Stöchiometrie für den Einsatz in Dünnfilmtransistoren
- Konstruktion und thermische Untersuchung eines Energiespeichers für ein Elektrofahrzeug
- Modellierung eines monolithisch integrierten RC-Snubbers für ein leistungselektronisches System zur Optimierung des EMV-Verhaltens
- Modifikation eines Spreading-Resistance-Messplatzes zur Bestimmung von Widerstandskonzentrationsprofilen über die Point-Contact-Current-Voltage-Methode
- Prozessentwicklung Hafnium-basierter Dielektrika mittels plasma-unterstützter Atomlagenabscheidung
- Simulative Analyse konvektiver Entwärmungsvorgänge in E-Maschinen für Hybrid- und Elektroautos
- Studie zur Monolithischen Integration von Spulen für leistungselektronische Anwendungen
- Systemintegration einer Antriebseinheit in ein Elektrofahrzeug
- Thermische Stabilität dielektrischer Schichten auf Germanium
- Untersuchung der elektrischen Eigenschaften von Korngrenzen in multikristallinem Silicium mittels elektrischer Messungen am AFM
- Untersuchung einer adaptiven Regelung für mehrphasige DC/DC-wandler und Implementierung in einem FPGA
- Untersuchung und Optimierung des Schaltverhaltens von Leistungsendstufen für Antriebsumrichter
- Untersuchung zur Erfassung hochdynamischer Schaltvorgänge bei modernen Leistungshalbleitern
- Untersuchungen zur Effizienz der in-situ Dotierung nasschemisch gezüchteter ZnO Nanopartikel anhnad von Feldeffekttransistoren
- Untersuchungen zur Schaltanomalie eines Trench-IGBT
- Vergleich unterschiedlicher Verfahren zur Bestimmung der Impedanz bzw. des Innenwiderstandes von Lithium-Ionen-Batterien zur Bestimmung des Alterungszustandes
2010
2009
2002
1999
1997
1996
1995
1994
1993
1992
Publikationen
2012
2011
2010
2009
- »(Poster) Influence of FIB patterning strategie on the shape of 3D structures: Comparison of experiments with simulations«, (Poster) MNE 2009 (2009)
- »Characterization of Organic Contamination during Semiconductor Manufacturing Processing«, AIP Conf. Proc. 1173, 23 (2009)
- »Comparative study between conventional macroscopic IV techniues and advanced AFM based methods for electrical characterization of dielectrics at the nanoscale«, Microelectronic Engineering 86, 1911-1914 (2009)
- »Future Challenges in CMOS Process Modeling«, E-MRS 2009, Symposium I, Strasbourg (2009)
- »Highly sensitive wave front sensor for characterization of micro- to nanometer scale surface flatness deviations«, Proc. SPIE 7389, 73890Q (2009)
- »Honeycomb Voids due to Ion Implantation in Germanium«, European Material Research SocietyE-MRS Spring Meeting 2009, Straßburg (2009)
- »Improved manufacturability of ZrO2 MIM capacitors by process stabilizing HfO2 addition«, Microelectronic Engineering 86, 1818-1821 (2009)
- »Lanthanum implantation for threshold voltage control in metal/high-k devices«, Microelectronic Engineering 86, 1782-1785 (2009)
- »Virtual Equipment Engineering: A Novel Approach for the Integrated Development of Semiconductor Manufacturing Equipment«, DETC2009, San Diego, California, USA, 541-547 (2009)
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
2000
1999
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