Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
| Name: | Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
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| Postal address: | Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6
91058 Erlangen |
| Room: | 1.122 |
| Phone number: | 09131/85-28633 |
| Fax number: | 09131/85-28698 |
| E-mail: | lothar.frey@leb.eei.uni-erlangen.de |
| Office hours: | weekly on tuesday 9:00 - 10:00
1.122
Bitte bei Sekretariat (1.121) anmelden.
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Courses / Lectures
Supervised theses
2013
2012
2011
2010
2009
2002
1999
1997
1996
1995
1994
- Erzeugung von Strukturen im Nanometerbereich mittels fokussierter Ionenstrahlen
- Schichtdickenmessungen an dünnen Siliziumdioxidschichten mittels Ellipsometrie und Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie
- Untersuchung phosphorimplantierten Siliciums mittels hochauflösender Röntgendiffraktometrie
1993
1992
Publications
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
- »Extracting Activation and Compensation Ratio from Aluminium Implanted 4H-SiC by Modeling of Resistivity Measurements«, 527-529, 827-830 (2006)
- »Ion Implantation and Annealing for an Efficient N-Doping of TiO2 Nanotubes«, Nano Lett. 6, 1080-1082 (2006)
- »Lösen neue Materialien die Probleme der Mikro- und Nanoelektronik«, VDE Kongress 2006 Aachen, 431 (2006)
- »Nanoscale morphology and photoemission of arsenic implanted germanium films«, Journal of Applied Physics 99, 084304 (2006)
- »Simulation of Ion Beam Direct Structuring for 3D Nanoimprint Template Fabrication«, Microelectronic Engineering 83, 936-939 (2006)
- »The Impact of Mass Resolution on Molybdenum Contamination for B, P, BF2 and As Implantations«, 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseille ()France, 464 (2006)
- »Well Design in a Bulk CMOS Technology with Low Mask Count«, 2006 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseille, 121-124 (2006)
2005
2004
2003
2002
2001
2000
1999
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