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Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey

Name:	Prof. Dr. rer. nat. Lothar Frey
Postanschrift:	Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente Cauerstr. 6 91058 Erlangen
Zimmer:	1.122
Telefonnummer:	09131/85-28633
Fax:	09131/85-28698
E-Mail:	lothar.frey@leb.eei.uni-erlangen.de
Sprechstunde:	wöchentlich dienstags 9:00 - 10:00 1.122 Bitte bei Sekretariat (1.121) anmelden.

Lehrveranstaltungen

• Anleitung zum wissenschaftlichen Arbeiten
• Übung zu Leistungshalbleiterbauelemente
• Halbleiterbauelemente
• Leistungshalbleiterbauelemente
• Nanoelektronik
• Produktion in der Siliciumtechnologie
• Prozessintegration und Bauelementearchitekturen
• Technologie integrierter Schaltungen

Betreute Arbeiten

2013

2012

2011

2010

2009

2002

1999

1997

1996

1995

• Lokaler Schichtabtrag mittels ionenstrahlgestütztem Ätzen
• Mikrobereichsanalyse integrierter Schaltungen mittels ToF-SIMS

1994

1993

1992

Publikationen

2012

2011

2010

2009

2008

2007

2006

2005

2004

2003

2002

2001

2000

1999

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