Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
Name: Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
ehem. Lehrstuhlinhaber (im Ruhestand)Postanschrift: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6
91058 ErlangenTelefonnummer: 09131/761-109 Fax: 09131/85-28698 E-Mail: heiner.ryssel@leb.eei.uni-erlangen.de
Lehrveranstaltungen
Wissenschaftliche Schwerpunkte
- CMOS-Technologie
- Halbleiterfertigungsgeräte
- Ionenimplantation
- elektronische Bauelemente
- Sensorik
Betreute Arbeiten
2012
2003
- Aufbau und Inbetriebnahme eines Messplatzes zur Charakterisierung von Feldemitter-Strukturen
- Charakterisierung von Siliciumdioxid-Silicium-Grenzflächen mit Hilfe des ELYMAT-Messverfahrens
- Entwicklung eines bidirektionalen 15 kW DC/DC-Wandlers
- Entwicklung eines bidirektionalen isolierenden DC/DC-Wandlers
- Entwicklung eines Messsystems zur Erfassung von Widerstand, Dicke und Leitungstyp von Siliciumscheiben und Integration in eine Fertigungsumgebung
- Implementierung eines effizienten Level-Set-Algorithmus zur Simulation von Photolackprofilen für die (optische) Lithographie
- Monte-Carlo Simulation von Rückstreuung und Sputtering
- Untersuchung von Masseninterferenzen in der Ionenimplantation
- Weiterentwicklung der Charakterisierung von Siliciumoxiden mit Hilfe des Elymat-Verfahrens
Publikationen
- »Comparative study of n-LIGBT and n-LDMOS structures on 4H-SiC«, Materials Science Forum 740-742, 887-890 (2013)
UnivIS