Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
Name: Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
ehem. Lehrstuhlinhaber (im Ruhestand)Postanschrift: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6
91058 ErlangenTelefonnummer: 09131/761-109 Fax: 09131/85-28698 E-Mail: heiner.ryssel@leb.eei.uni-erlangen.de
Lehrveranstaltungen
Wissenschaftliche Schwerpunkte
- CMOS-Technologie
- Halbleiterfertigungsgeräte
- Ionenimplantation
- elektronische Bauelemente
- Sensorik
Betreute Arbeiten
2012
2006
- Entwicklung eines USB-Interface für den Gate-Treiber in einem automatisierten Kennlinienmeßplatz
- Entwicklung, Simulation und Integration einer I²C/SMBus kompatiblen digitalen Schnittstelle
- Gasphasensynthese nanoskaliger Siliciumpartikel
- Memetische Algorithmen in der globalen restringierten Optimierung von Lithographie-Prozessen - Hybridisierung von Genetischen Algorithmen mit einem analytischen lokalen Optimierer
- Modeling and Simulation of NROM Memory Cells
- Optimierung der Prozesskontrolle für das Dickdrahtbonden
- Optimierung des Quarz-Ätzprozesses zur Herstellung von Prägeformen für die UV-Nanoimprintlithographie
- Prozessentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von 3D-Kapazitäten
- Untersuchungen zur Integration eines alternativen Gatestapels in einen CMOS-Prozess
Publikationen
- »Comparative study of n-LIGBT and n-LDMOS structures on 4H-SiC«, Materials Science Forum 740-742, 887-890 (2013)
UnivIS