Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
| Name: | Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
ehem. Lehrstuhlinhaber (im Ruhestand) |
| Postanschrift: | Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6
91058 Erlangen |
| Telefonnummer: | 09131/761-109 |
| Fax: | 09131/85-28698 |
| E-Mail: | heiner.ryssel@leb.eei.uni-erlangen.de |
Lehrveranstaltungen
Wissenschaftliche Schwerpunkte
- CMOS-Technologie
- Halbleiterfertigungsgeräte
- Ionenimplantation
- elektronische Bauelemente
- Sensorik
Betreute Arbeiten
2012
2011
2010
2009
- Alternative Materialien und Prozesse für kostengünstige Elektronik-Anwendungen
- Auslegung der Kühlung einer elektrischen Antriebseinheit für ein Hybridfahrzeug
- Elektromechanische Konstruktion eines Hochvolt-Akkusystems für Hybridfahrzeuge
- Entwicklung eines Simulationsmodells für Elektrofahrzeuge
- Entwicklung eines Umrichters für einen elektrischen Fahrzeugantrieb
- Entwurf und Realisierung eines Reglers für einen DC/AC Wandler zum Betrieb einer 230 V Steckdose in einem Hybridfahrzeug
- Experimentelle Untersuchungen zur Erzeugung keramischer Schichten auf elektrisch leitfähigen Metallisierungen mittels Laserstrahlung
- Grundlagenuntersuchungen zur Herstellung von lötbaren Kühlkörpern aus thermisch leitfähigem Kunststoff
- Herstellung von Submikrometer-Transistoren mittels Kontaktbelichtung
- Konzeptstudie zur Umrüstung eines konventionellen PKW in ein Elektrofahrzeug
- Untersuchungen zur Regelung eines mehrstufigen bidirektionalen AC/DC-Wandlers
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
1999
1998
1997
1996
1995
1994
1993
1991
1990
1988
1987
Publikationen
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
- »1985 - 2004 Technologie für die Mikroelektronik«, IIS20 Jahre Förderkreis für die Mikroelektronik, Erlangen-Tennenlohe (2004)
- »3D-Feature-Scale Simulation of Sputter Etching with Coupling of Equipment Simulation«, Proceedings of SISPAD (Simulation of Semiconductor Processes and Devices) 125, - (2004)
- »3D-Feature-Scale Simulation of Sputter Etching with Coupling to Equipment Simulation«, Poster Presentation at SISPAD 2004, München (2004)
- »3D-Simulation of Ionized Metal Plasma Vapor Depostition«, Microelectronic Engineering 76, 100-105 (2004)
- »Additional Peaks in Mass Spectra Due to Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction«, Poster Presentation on IIT 2004, Taipei, Taiwan (2004)
- »Annealing of Aluminium Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing«, Material Science Forum 621, 438-485 (2004)
- »Design, Fabrication, and Characterization of a Microactuator for Nebulazation of Fluids«, Proceedings of Sensors and Microsystems, Italian Conference 2003, Italy World Scientific, 388 (2004)
- »E-Learning for Microelectronics Manufacturing«, Proceedings of the 13th ISSM 2004, - (2004)
- »Electrical Characterization and Reliability Aspects of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors«, Microelectronic Engineering 72, 315-320 (2004)
- »Ellipsometrie zur Prozessüberwachung in der Halbleiterfertigung«, Institut für Plasmaforschung3rd Workshop Ellipsometrie, Stuttgart (2004)
- »Integration of Field Emitters into Scanning Probe Microscopy Sensors Using Focused Ion and Electron Beams«, Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 22, 1402 (2004)
- »Investigation of Rapid Thermal Annealed pn-Junctions in SiC«, Material Science Forum, 457-460 (2004)
- »Investigations into the Wear of a WL10 Ion Source«, Poster Presentation on IIT 2004, Taipeh, Taiwan (2004)
- »Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis«, 7th International Conference on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES), Abstracts and Programme, 114 (2004)
- »Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis«, 7th International Conference on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES), Helsinki, Finnland (2004)
- »Measurement Data Evaluation for in Situ Single-wavelength Ellipsometry During Reactive Ion Etching«, 5th European Advanced Equipment Control/Advanced Process Control (AEC/APC) Conference, Dresden 2004, - (2004)
- »Mikroelektronik - Schlüsseltechnologie unserer Zeit«, IISBErlanger Techniktage, Erlangen (2004)
- »Modeling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation«, MAM2004, Leuven, Belgium 76, 89-94 (2004),
http://www.sciencedirect.com/science?ob=MImg&imagekey=B6V0W-4D1V29P-2-C&cdi=5657&user=746735&orig=browse&coverDate=10%2F01%2F2004&sk=999239998&view=c&wchp=dGLbVlb-zSkzk&md5=4039dffb5d8e4b57dba393cf896acaef&ie=/sdarticle.pdf
- »Modelling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation«, Microelectronic Engineering 76, 1-4 (2004)
- »Modelling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation«, Poster Presentation at MAM 2004 (2004)
- »Modelling of the Influence of Schottky Barrier Inhomogenities on SiC Diode Characteristics«, Material Science Forum 973, 457-460 (2004)
- »Optical Characterization of Ferroelectric Strontium-Bismut-Tantalate (SBT) Thin Films«, Thin Solid Films, Special Issue: the 3rd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry 455-456, 495-499 (2004)
- »Three-Dimensional Simulation of Ionized Metal Plazma Vapor Deposition«, Poster Presentation at MAM 2004 ( Materials for Advanced Metallization ), Brüssel, Belgien (2004)
- »Vorstellung des neuen Bayerischen Forschungsverbundes für Nanoelektronik (FORNEL)«, Bayerisches Staatsministerium für Wissenschaft, Forschung und KunstJahrestagung und Mitgliederversammlung von abayfor ( Arbeitsgemeinschaft der Bayerischen Forschungsverbünde ), München (2004)
2003
2002
2001
2000
1999
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