Bedeutung von Reinräumen in der Halbleiterfertigung (...und darüber hinaus.)

  • Ein Reinraum ist ein Raum, in den gefilterte und dadurch partikelarme Luft eingeblasen wird.
  • Reinräume werden z.B. in der Chirurgie verwendet, um Infektionen der Patienten durch Bakterien zu vermeiden.
  • Bei der Produktion mikroelektronischer Schaltungen führen Partikel zu Defekten und reduzieren die Ausbeute (engl. Yield). Die industrielle und experimentelle Fertigung von Integrierten Schaltungen muss unbedingt in einem Reinraum stattfinden. Mit der Qualität des Reinraumes steigen die Kosten.
Ofenbereich im LEB-Reinraum

Mitarbeiter mit Schutzkleidung im Ofenbereich des LEB-Reinraumlabors

  • Da Menschen eine massive Kontaminationsquelle sind, müssen sie in Reinräumen unbedingt Schutzkleidung tragen. Dies erfolgt nicht zum Schutz der Personen, wie sonst bei Schutzkleidung üblich, sondern dient dem Schutz der Halbleiterscheiben. Aber auch die Halbleiterfertigungsgeräte müssen so konstruiert werden, dass sie möglichst wenig Partikel abgeben.
  • Die Definition der Reinraumklasse richtet sich weltweit nach einem amerikanischen Standard. Dabei ist die Reinraumklasse gleich der Anzahl der Partikel pro Kubikfuß, bezogen auf Partikel größer als 0,5 µm Durchmesser. Zur Veranschaulichung: Im Gegensatz zur Reinraumklasse 10 im LEB-Reinraumlabor enthält die ungefilterte Außenluft etwa 100.000 bis 1 Mio. Partikel pro Kubikfuß.

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Letzte Änderung: 08.04.2011 - 13:30 Uhr GMT +1
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