Daten & Fakten

Technische Daten zum LEB-Reinraumlabor

Schematischer Querschnitt durch den Reinraum des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente und allgemeine Informationen

Der Reinraum verfügt über eine vollständige Filterdecke und einen aufgeständerten Doppelboden, der selbst auf einem mit zahlreichen Löchern versehenen Betonboden steht.

Die durch Lüftungsaggregate aufbereitete Luft wird in ein Druckplenum eingeblasen und durchströmt nach Durchqueren der Filter den Reinraum. Im Luftrückführungsgeschoss wird die Luft gesammelt, vorgefiltert, gekühlt und zwischen Außenfassade und Außenwand des Besucherganges über Schalldämpfer wieder von den Lüftungsaggregaten angesaugt und in den Reinraum über das Druckplenum zurückgeblasen.

Vom Besuchergang aus kann man die Arbeiten im Reinraum beobachten. Unter dem Luftrückführungsgeschoss befindet sich ein Medienkeller mit Abluftkanälen. Im Medienkeller werden Hilfsaggregate wie Pumpen, Hochfrequenznetzteile, Abgaswäscher, Gasversorgungssysteme usw. aufgestellt, damit man diese Aggregate - ohne den Reinraumbetrieb zu stören - warten, reparieren oder austauschen kann.


In der untenstehenden Abbildung sieht man den Reinraum des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente während der Montage. Die flächendeckende Filterdecke und die flächendeckenden Lochrasterbodenplatten sind bereits montiert, ebenso die äußeren Wände. Im Innenraum sind Stützen für Trennwünde errichtet.

Laborbereich während der Montage

Laborbereich während der Montage. Gut zu erkennen: Filterdecke, Lochrasterboden und aufgeständerte Trennwände


Klassische Reinräume sind üblicherweise in einer Fingerstruktur aufgebaut. Die Abbildung zeigt einen schematischen Grundriss. Um einen zentralen Korridor, der über einen Umkleideraum bzw. eine Schleuse betreten wird, sind abwechselnd Prozessbereiche mit einer Klasse 100 oder besser und Gerätebereiche mit einer Klasse von 1.000 oder etwas schlechter eingerichtet. Die Prozessbereiche können vom zentralen Korridor aus begangen werden, die Gerätebereiche nur von den Servicegängen, die in der Abbildung rot gezeichnet sind.

Darstellung einer klassischen Fingerstruktur für Reinräume

Schematische Darstellung der klassischen "Fingerstruktur" für Reinräume

Für die Herstellung von Halbleiterprodukten wird im Reinraumlabor eine Vielzahl chemischer und physikalischer Medien benötigt. Zur Medienversorgung gehören gefilterte Luft, die gewöhnlich auf eine Temperatur von 21℃ plus minus 0,5℃ und eine relative Luftfeuchtigkeit von 50% eingestellt wird. Weiterhin gehören zur Medienversorgung deionisiertes Wasser höchster Qualität, sogenannte Volumengase (Stickstoff, Sauerstoff und Wasserstoff) und Prozessgase wie Phosphin und Silan sowie weitere Gase, diverse Chemikalien, ölfreie Druckluft, Vakuum und Kühlwasser.

Nach der Prozessdurchführung sind eine Reihe Medien zu entsorgen. Dazu gehören vor allem Säuren und Laugen, organische Lösungsmittel und toxische Gase. Die toxischen Gase werden entweder in nasschemisch arbeitenden Gaswäschern oder mit Hilfe von Brennsystemen unschädlich gemacht, Säuren und Laugen werden neutralisiert.

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Letzte Änderung: 01.12.2011 - 09:19 Uhr GMT +1
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